Общие термины
Емкость
Свойство системы проводников и диэлектриков, которое позволяет сохранять электрический заряд при наличии разности потенциалов между проводниками. Значение емкости выражается как отношение между количеством электричества к разности потенциалов, единицей измерения является Фарад.
Конденсатор.
Устройство в цепи, обладающее способностью сохранять электрический заряд. Обычно конденсатор состоит из двух проводников, разделенных слоем непроводящего материала, называемого диэлектриком. Когда проводники на противоположных сторонах диэлектрика заряжены взаимопротивоположно с помощью источника напряжения, электрическая энергия заряженной системы хранится в поляризованном диэлектрике.
Диэлектрическая постоянная.
Способность диэлектрика хранить потенциальную электрическую энергию под воздействием электрического поля. Она измеряется как отношение, которое сравнивает емкость конденсатора с данным веществом в качестве диэлектрика, с емкостью этого конденсатора, использующего в качестве материала диэлектрика вакуум/сухой воздух: диэлектрическая постоянная воздуха равна 1.
Активная защита.
Часть зонда изолирована от измерительной части. Сигнал сенсора связан с изолированной частью зонда, игнорирующего изменение емкости между экранированной и измерительной частью устройства. Итак, изолированная часть зонда в зоне подключения к процессу не влияет на изменения, связанные с испарением, отложением материала и пыли, конденсацией.